氧化镓紫外探测器件动态光电响应特性数据集

本数据测试按照《国家重点研发计划大尺寸氧化镓半导体材料与高性能器件研究（项目编号：2022YFB3505500）日盲紫外光电探测器测试大纲》进行。测试环境：温度20℃、湿度45%RH；所用测试仪器均在校验有效期内，确保了项目测试数据的质量。在现场测试过程中，测试人员将待测器件置于探针台上，用周期性开启和关闭的255 nm波长紫外线照射器件，将与光源同步的方波信号加载到器件栅极上，方波信号幅值设定为±5 V，在源-漏电极之间加载5 V偏压，用示波器观测并记录紫外光源的强度信号以及晶体管的源-漏输出信号。根据现场测试数据，项目组按照测试大纲批准的计算方法，计算出了所测器件的动态光电响应核心技术指标——响应时间常数，其上升时间tr及下降时间td均为4μs，为大响应度、高探测率、快速响应光电探测器件的研制提供了技术方案参考。