基于极紫外光源样机的集成设计及工程化数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-06-28 收录
官方服务：
资源简介：
本数据集通过使用机械模型进行相应的集成设计，包括机械设计、高次谐波产生装置、电气柜、光束指向稳定控制，形成相应的研究报告，并协调分系统进行原理样机集成，在季华实验室、中国科学院空天信息创新研究院开展项目技术指标的第三方测试，包括光源波长、输出功率、脉冲能量、光束质量、技术就绪度等的检测。
提供机构：
季华实验室
社区交流群
科研交流群
商业服务
本数据集通过使用机械模型进行相应的集成设计，包括机械设计、高次谐波产生装置、电气柜、光束指向稳定控制，形成相应的研究报告，并协调分系统进行原理样机集成，在季华实验室、中国科学院空天信息创新研究院开展项目技术指标的第三方测试，包括光源波长、输出功率、脉冲能量、光束质量、技术就绪度等的检测。