微纳复合结构跨尺度测量系统误差分析、补偿与不确定度分析实验数据集

原子力探针扫描测量模式受环境因素的影响较大，本项目对仪器框架在垂直方向上由于温度影响产生的变形量进行准确计算，通过结构优化设计和搭配使用不同低温度系数材料，减少或中和温度漂移对测量精度的影响。此外，将测量仪置于恒温箱中，再将其整体放置在隔振平台上，减小空气扰动和地面振动对测量结果的影响。在此基础上，建立微纳复合结构跨尺度测量系统测量模型，对双测量模式下的各误差因素进行分析并确定主要误差因素；提出基于原子力探针针尖形貌误差补偿和压电陶瓷磁滞补偿方法；在此基础上，建立微纳复合结构跨尺度快速测量仪不确定度分析模型，提高测量结果的可信度。