力流变抛光液流变特性及抛光过程可控性研究数据集

在力流变抛光过程中，抛光液本身流变特性将直接影响被加工件的最终抛光效果，因此研究力流变抛光液配制和抛光液配比不同对流变特性的影响就具有重要意义。本研究对不同配比的抛光液进行流变性检测实验，分析了磨料种类、磨料粒度、磨料浓度对抛光液流变特性的影响，对后续进行力流变抛光碳化硅最优工艺参数实验以及探讨碳化硅力流变抛光的加工去除机理具有重要指导作用。