选择性原子层沉积跨尺度预测模型数据集

本数据集针对选择性原子层沉积薄膜跨尺度预测模型构建需求建设，主要包括前驱体反应能量和形核模型代码。其中前驱体反应能量通过公开商业软件VASP计算所得，计算了前驱体在不同金属、氧化物基底表面吸附、解离反应过程的构型以及能量变化。前驱体能量计算采用第一性原理方法，使用投影缀加波(PAW)算法，广义梯度近似(GGA)，Perdew-Burke-Ernzerhof(PBE)泛函，并添加贝克-琼森阻尼的DFT-D3方法进行范德华修正。数据集分为按照前驱体反应能量、形核模型代码两部分。