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合肥开悦半导体科技有限公司
企业合肥开悦半导体科技有限公司成立于2016年，属专用设备制造业，主营技术进出口。面向光电半导体、工艺优化、半导体工艺等领域提供数据服务，开放涂胶显影机工艺优化与调度复合数据集（光电半导体、工艺优化）、多型号晶圆温度均匀性工艺验证数据集（半导体工艺、温度均质化）、新型电机驱动Pin针运动特性对比监测数据集V1.0（电机驱动、运动监测），支撑监测研判与运维优化。
光电半导体工艺优化半导体工艺专用设备制造高新技术企业
数据集列表
多型号晶圆温度均匀性工艺验证数据集
数据来源：本数据集为自行设计生产。数据来源于在严格模拟实际工艺配方的环境条件下，使用自研的监测软件与高精度传感系统，在涂胶显影机热处理单元上对不同型号晶圆进行系统性测试所得；
数据构成：由测试元数据（设备、条件、内容、台号、型号）、原始数据（设定温度、最低温度、最高温度）、分析结果数据（平均温度、稳定后3σ百分比/值、稳定后Range百分比/值）和可视化图样数据组成。
安徽省数据知识产权登记平台2026-01-29 更新110
涂胶单元边缘清洗手臂位置再现性检验数据集
数据构成：本数据集来源于激光位移传感器对不同涂胶单元的边缘清洗手臂位置进行的重复定位精度测量。其主要由以下字段构成：检验项目、检验工具、检验类型、边缘清洗手臂1和边缘清洗手臂2等。将计算出的“重复定位精度”值与规定值进行比较后生成的合格/不合格判定结论。
安徽省数据知识产权登记平台2025-10-11 更新40
送货单元机械手X轴重复定位精度激光检验数据集
数据构成：本数据集为经过系统采集和计算的衍生数据集合，其主要由以下字段构成：检验项目、检验工具、检验类型和两组检验条件等。将计算出的“重复定位精度”值与规定值进行比较后生成的合格/不合格判定结论。
安徽省数据知识产权登记平台2025-10-11 更新80
涂胶显影机工艺优化与调度复合数据集
数据构成：数据为自行设计生产，来源于涂胶显影机实际运行过程中的工艺参数和设备状态监控。其主要以下字段构成：标识数据（批次标识、作业标识、晶圆标识）、晶圆详情数据（晶圆批次标识、加载端口编号、槽位号、加载时间戳、晶圆移动路径记录）、作业流程数据（作业流程文件名称、作业起始时间、同批次作业序号、作业循环次数）、状态与权限数据（作业状态（进行中/完成/中断）和创建用户（经去标识化处理）。
安徽省数据知识产权登记平台2025-11-28 更新150
热板单元传送冷板位置再现性检验数据集
数据构成：本数据集来源于激光位移传感器对涂胶显影机热板单元传送冷板位置的重复测量。检验在三种不同启动时间下进行，模拟实际生产中的间歇性工况。其主要由以下字段构成：检验项目、检验工具、检验类型和检验启动时间等。将计算出的“重复定位精度”值与规定值进行比较后生成的合格/不合格判定结论。
安徽省数据知识产权登记平台2025-10-11 更新30
新型电机驱动Pin针运动特性对比监测数据集V1.0
数据构成：数据为自行设计生产，来源于将电子三轴陀螺仪放置于Wafer表面，通过新型电机驱动控制Pin针托举Wafer并采集全过程的三轴角速度数据。其主要由以下字段构成：接收时间、运动模式、角速度X、角速度Y和角速度Z等。
安徽省数据知识产权登记平台2025-09-11 更新100