有源硅光转接板芯片传输链路带宽测试数据

为了实现项目所需的低损耗TSV-RDL链路结构，需要首先对器件结构进行设计优化，然后指定工艺流程方案，并最终对加工得到的器件性能进行测试。为了详细的记录这个过程，因此本项汇交数据包含有源硅光转接板芯片低损耗传输链路的设计方案、流片方案、测试方案、相应的测试结果数据。采用高频仿真设计软件HFSS对TSV结构进行优化仿真，本数据集包含仿真的源文件及仿真产生的结果文件，方便后续对设计进行复现，本数据的来源是仿真过程中产生的。同时，本数据集包含低损耗TSV-RDL链路结构的工艺流程介绍，详细介绍了工艺的实现方案，本数据来源是对加工过程的详细介绍，方便理解我们的器件实现过程。为了对低损耗TSV-RDL链路结构进行测试，本数据集详细介绍了该结构的高频测试方案，并将测试过程中产生的原始数据进行保存，实现了对原始测试结果的详细记录。因此该数据集对低损耗TSV-RDL链路结构的设计方案、流片方案、测试方案、相应的测试结果数据进行有效记载。