集束腔体前驱体输出测试数据集

本数据集围绕集束选择性原子层沉积的轮转腔体、控制系统和前驱体定量输出装置设计，提供相关的设计图、软件代码和前驱体输出测试数据，用于支撑选择性原子层沉积系统的研发。数据集的时间范围为2022年11月至2024年10月，利用Solidworks设计集束中心轮转腔体，包含轮转腔体、机械手装配、晶圆存储腔体、电气控制柜设计图纸，以及利用Microsoft Visio Studio 2022开发集束腔体的原子层沉积工艺控制软件。前驱体输出测试基于高精度压力传感器和示波器，开发了前驱体脉冲时间测量系统，并基于测试结果进行元件选型及控制优化，实现了高速前驱体脉冲输送。所有数据均经过系统整理和审核，确保数据的可靠性和可重复性。本数据集可为面向半导体先进制程的原子层沉积系统研发提供参考，具有重要的科研和工程应用价值。