高品质因子光学微腔频谱测量模块测试数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-08-31 收录
官方服务：
资源简介：
高品质因子光学微腔频谱测量模块是基于光波元器件分析仪开发的测量应用成果。本课题基于低损Si3N4平台制备具有不同自由光谱范围（Free spectral range, FSR）和色散参数的高Q微环腔、完成1550nm±10nm和1310±10nm波段微腔的FSR测量、色散表征和色散延时精度测试、基于高Q微球腔完成谐振峰最小谱宽测试、基于双微环腔级联完成自由光谱测试频率范围验证等任务目标。高Q微腔的FSR、模式线宽等技术指标已达到结题考核对待测器件的要求。该项应用研究有效支撑目前科研与生产中对于光电谐振集成器件的稳定且可靠的表征工作。这不仅可以为国内光芯片前沿研究工作者提供完整可靠的测试方案，满足我国光电芯片测试日益增长的重大需求，同时还能够加速光电芯片的设计与迭代升级，促进产业的良好发展。主要记录了上述微腔待测件的LCA测试数据，压缩包数据量177GB
提供机构：
华中科技大学
