基于铁磁共振作用的声波磁场传感器的设计优化及表征数据

声波激励的铁磁共振作用对外磁场的方向具有强烈的依赖性，并且这种方向依赖性受磁性薄膜中的单轴各向异性场的影响，这为实现多个方向的磁场传感提供了理论基础。本研究通过设计声波器件结构提升声磁耦合强度，实现磁场传感灵敏度的提升。通过优化制备工艺，在磁性薄膜中诱导单轴各向异性场，拓宽磁场传感器的方向，实现2个方向的磁场传感。本数据集覆盖2022-2025年范围内的声波器件以及声磁耦合仿真模型和代码、磁场传感器以及磁性薄膜的形貌和基本物性表征数据、多个方向磁场传感的测试数据以及直接对应本项目指标的已发表论文和申请的发明专利。数据的质量控制措施包括：在固定的国内或国际知名供应商购买项目所需晶圆和靶材，器件制备使用符合工艺需求的设备，器件表征参照相关国家标准。该数据集的潜在利用价值在于为基于声波器件的无线无源磁场传感器提供了新的设计原理，并拓展出了可能的矢量磁传感方案。