局域选择性自组装构筑纳米复合材料种类

局域选择性自组装构筑纳米复合材料种类主要面向高性能传感器的研发需求，致力于解决“自下而上”纳米自组装与“自上而下”晶圆级制造工艺之间的兼容性难题。本研究基于局域选择性自组装和图案化技术，实现多种纳米敏感材料在传感芯片功能区域的微结构精准构建与优化。重点开发高效的纳米材料薄膜沉积策略、无光刻胶图案化方法，以及MEMS加工技术支持的微结构区域功能化工艺。数据集主要记录单个传感芯片阵列中多个区域集成的不同传感材料的元素EDX扫描谱图和组分分布。