原子级材料分析与可靠性提长数据集

本研究提出了一个原子级材料分析与可靠性提升数据集，根据研究内容划分为四个子数据集：1、基于制备的GAA原型器件及可靠性测试系统提出的测量-应力-测量（Measure-Stress- Measure）的可靠性测试波形图设置；2、测试获得的原始测试数据；3、对原始测试数据进行分析获得的测试数据分析；4、GAA原型器件关键形貌的原子层超薄样品制备样图。数据集的潜在应用价值主要是为GAA器件结构的原子级材料表征及可靠性退化机理研究提供支持，从而加快GAA器件的研发进程。