温振复合敏感芯片数据

包括三轴振动传感器力学模型，研究振动温漂补偿机理理论建模，根据理论力学以及材料力学有关悬臂梁以及简支梁弯曲以及拉压变形理论、机械振动理论等，以及加速度敏感结构实际边界条件，建立加速度敏感结构的结构-力以及结构-固频解析公式。采用商用有限元软件COMSOL及ANSYS对理论模型进行校验。开展了基于有限元的理论公式校验，完成了结构的优化设计。基于以上模型的温振复合芯片设计方案；芯片设计加工后，根据温度和加速度传感器标准测试规程及测试大纲在专业测试装置下对传感器特定指标进行测试获得的传感器响应数据。