基于拓扑优化的多波长光子晶体激光器阵列芯片数据集

所产生的数据由中国科学院半导体研究所和北京大学的项目参与研究人员在项目研究期限2021年12月至2024年11月期间内采集完成，增加了后期进行项目验收时的相关数据。本数据集数据基于相关生产条件，在项目研究过程中通过理论计算、数值模拟和实验研究产生。模拟计算均在中国科学院半导体研究所和北京大学的大型软件上运行获得，对科研起到积极的指导作用；在中国科学院半导体研究所固态光电信息技术研究室和集成中心进行工艺加工，在中国科学院半导体研究所固态光电信息技术研究室和北京大学进行测试；经过测试获得达到或超过项目指标的性能，并在第三方进行计量。整个项目第一层级目录为“基于拓扑优化的多波长光子晶体激光器阵列芯片”，其下包括4个文件夹，分别包含3个数据集和1个数据集说明文件夹。
在“01数据实体——基于拓扑优化的多波长光子晶体激光器阵列芯片仿真数据”文件夹中，包含了基于拓扑优化的多波长光子晶体激光器阵列芯片的仿真数据；不同方向对器件性能进行优化的仿真程序；以及探索了不同种子光栅周期对采样周期的影响。这些都是设计多波长光子晶体激光器阵列芯片的重要依据。
在“02数据实体——基于拓扑优化的多波长光子晶体激光器阵列芯片制备工艺数据”文件夹中，提供了侧向非晶硅REC光栅多波长光子晶体激光器阵列芯片制备过程中的一些工艺流程图及芯片工艺照片。
在“03数据实体——基于拓扑优化的多波长光子晶体激光器阵列芯片测试数据”文件夹中，提供了侧向非晶硅REC光栅多波长光子晶体激光器阵列芯片的测试数据、计量报告（第三方测试报告）。此测试结果已经达到项目考核指标，包含非厄米光子晶体反射率、非厄米光子晶体反射峰数量、非厄米光子晶体局域态Q值、拓扑光子晶体中拓扑态的Q值、拓扑结构中的最大工艺容差、拓扑优化算法优化光子晶体空间维度、拓扑优化后的反射峰半高全宽、拓扑优化后的光子晶体最小尺寸、激光器阵列通道数量为64路（由2个32路的激光器阵列芯片组成。64路中首路的中心波长在1530.3nm（±0.16nm），其余通道输出中心波长按照波长间隔依次递增）、波长间隔为100GHz±20GHz、单路输出功率为15dBm、边模抑制比为40dB、自发发射耦合因子为0.8、平均阈值为0.06kW/cm2、单通道3dB带宽不小于25GHz，NRZ速率25Gbps、激光器注入电流一致性优于20mA，输出功率一致性优于2dBm、硅基混合集成发射芯片单通道3dB带宽不小于20GHz等17项性能指标。