硅微纳结构制造均匀性
收藏国家基础学科公共科学数据中心2024-03-05 收录
下载链接：
https://www.nbsdc.cn/general/dataDetail?id=64ef85c4bb16e0591d025b05&type=1
下载链接
链接失效反馈官方服务：
资源简介：
硅微纳结构制造均匀性主要面向六六六、汞、 TNT 和沙林等待测目标物的现场快速检测需求而通过结构设计和工艺攻关得到均匀性好的硅纳米线，从而实现传感器芯片批量制备。根据《敏感信号转换机制及超高灵敏检测方法》测试大纲的测试方法，委托上海市计量测试技术研究院，通过SEM扫描电镜对硅微纳结构宽度进行了测量，并通过公式计算得到硅微纳结构制造均匀性。
提供机构：
上海微系统与信息技术研究所
