白光干涉和原子力探针扫描共光路融合与测量装置构建实验数据集

本数据集采集于2023年1月至2024年12月。研究针对微纳复合结构跨尺度测量的需求，提出“白光干涉术”与“原子力显微术”共光路融合的高精度快速测量方法，并成功构建了微纳复合结构跨尺度测量原理样机。实验采用自研微纳复合结构跨尺度测量原理样机，通过白光干涉与原子力探针扫描双模式融合实现跨尺度测量，数据集包含系统装置模型数据、系统关键图纸数据、实验过程数据、实验数据、研究报告、第三方测试报告和相关成果等，时间范围覆盖2023-2024年，空间范围涵盖样机测试区域，水平分辨率达2nm，垂直分辨率2nm，单幅扫描范围20μm×20μm，最大扫描区间20mm×20mm。数据集突破了微纳复合结构跨尺度一体化测量的关键技术瓶颈，为半导体、安全防伪、航空航天等领域的高精度快速测量提供了重要技术支持，具有显著的应用前景。