碳化硅基多层压电复合薄膜机电耦合系数性能数据集

本研究通过设计、制备和测试基于碳化硅基多层压电材料的声学谐振器的关键参数评估多层复合衬底的材料性能。声学谐振器是声学滤波器的关键单元，声学滤波器主要由多个串联谐振器和并联谐振器交替级联而成。声学谐振器的谐振频率、机电耦合系数和杂模谐振等与声学滤波器的中心频率、带宽、插入损耗及带外抑制等参数密切相关。基于铌酸锂/碳化硅衬底开展谐振器设计验证，获得具有大机电耦合系数的SH-SAW谐振器，本数据集包括器件设计与制备、性能测试和第三方测试报告，可为高频宽带射频声学器件的材料选型、结构优化与性能预测提供标准化数据支撑。